a 2016

Behavior of spokes at different magnetic fields

HNILICA, Jaroslav, Marta ŠLAPANSKÁ, Peter KLEIN a Petr VAŠINA

Základní údaje

Originální název

Behavior of spokes at different magnetic fields

Autoři

HNILICA, Jaroslav (203 Česká republika, domácí), Marta ŠLAPANSKÁ (203 Česká republika, domácí), Peter KLEIN (703 Slovensko, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí)

Vydání

15th International Conference on Plasma Surface Engineering, 2016

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Německo

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/16:00088162

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

spoke; magnetic field; HiPIMS

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 5. 1. 2018 14:12, Mgr. Marta Šlapanská, Ph.D.

Anotace

V originále

The investigations of the non-reactive high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) discharge using current probes, high speed camera imaging and optical spectroscopy showed that plasma is not homogenously distributed over the target surface, but it is concentrated in regions of ionization zones called spokes which rotate above the erosion racetrack. The spokes were observed for certain combination of experimental parameters such as discharge current, pressure, target material and working gas.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GA15-00863S, projekt VaV
Název: Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
LO1411, projekt VaV
Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy