WIDE-PRESSURE-RANGE COPLANAR DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE FOR
HYDROCARBON CONTAMINATION REMOVAL IN SCANNING ELECTRON
MICROSCOPY

D 2016

WIDE-PRESSURE-RANGE COPLANAR DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE FOR HYDROCARBON CONTAMINATION REMOVAL IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY

DUGÁČEK, Ján, Pavel SŤAHEL, Jan ČECH a Jana JURMANOVÁ

Základní údaje

Originální název

WIDE-PRESSURE-RANGE COPLANAR DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE FOR HYDROCARBON CONTAMINATION REMOVAL IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY

Autoři

DUGÁČEK, Ján (203 Česká republika, garant, domácí), Pavel SŤAHEL (203 Česká republika, domácí), Jan ČECH (203 Česká republika, domácí) a Jana JURMANOVÁ (203 Česká republika, domácí)

Vydání

Brno, Hakone XV: International Symposium on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistrywith joint COST TD1208 workshop Non-Equilibrium Plasmas with Liquids for Water and Surface Treatment. Book of Contributed Papers, od s. 287-290, 4 s. 2016

Nakladatel

Masarykova univerzita; Jednota českých matematiků a fyziků

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Forma vydání

tištěná verze "print"

Odkazy

URL

Kód RIV

RIV/00216224:14310/16:00091427

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-210-8318-9

UT WoS

000393033200067

Klíčová slova anglicky

plasma; discharge; WPR-CDBD; decontamination

Štítky

AKR, rivok

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

Změněno: 26. 4. 2017 22:41, Ing. Andrea Mikešková

Anotace

ORIG CZ

V originále

Unwanted organic contamination of the surface of SEM samples or vacuum chambers often causes reductions of the SEM image quality, e. g. brightness or contrast of image, which worsen over time. This is the reason why the regular cleaning of the surface of the sample or vacuum chamber is necessary. In the presented paper, a novel method for SEM samples organic decontamination based on wide-pressure-range coplanar dielectric barrier discharge was investigated. WPR-CDBD efficiency for various organic compounds’ removal, including heavy hydrocarbons, was proved. Comparison with standard commercial plasma decontaminator XEI working with remote plasma was made.

Česky

Čištění vakuových komor pomocí nízkoteplotního plazmatu-WPR-CDBD

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV

Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy

LO1411, projekt VaV

Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy

Citovat

DUGÁČEK, Ján, Pavel SŤAHEL, Jan ČECH a Jana JURMANOVÁ. WIDE-PRESSURE-RANGE COPLANAR DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE FOR HYDROCARBON CONTAMINATION REMOVAL IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY. In Mirko Černák, Tomáš Hoder. Hakone XV: International Symposium on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistrywith joint COST TD1208 workshop Non-Equilibrium Plasmas with Liquids for Water and Surface Treatment. Book of Contributed Papers. Brno: Masarykova univerzita; Jednota českých matematiků a fyziků, 2016, s. 287-290. ISBN 978-80-210-8318-9.

@inproceedings{1358784,
   author = {Dugáček, Ján and Sťahel, Pavel and Čech, Jan and Jurmanová, Jana},
   address = {Brno},
   booktitle = {Hakone XV: International Symposium on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistrywith joint COST TD1208 workshop Non-Equilibrium Plasmas with Liquids for Water and Surface Treatment. Book of Contributed Papers},
   editor = {Mirko Černák, Tomáš Hoder},
   keywords = {plasma; discharge; WPR-CDBD; decontamination},
   howpublished = {tištěná verze "print"},
   language = {eng},
   location = {Brno},
   isbn = {978-80-210-8318-9},
   pages = {287-290},
   publisher = {Masarykova univerzita; Jednota českých matematiků a fyziků},
   title = {WIDE-PRESSURE-RANGE COPLANAR DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE FOR HYDROCARBON CONTAMINATION REMOVAL IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY},
   url = {https://munispace.muni.cz/index.php/munispace/catalog/book/836},
   year = {2016}
}

TY  - JOUR
ID  - 1358784
AU  - Dugáček, Ján - Sťahel, Pavel - Čech, Jan - Jurmanová, Jana
PY  - 2016
TI  - WIDE-PRESSURE-RANGE COPLANAR DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE FOR HYDROCARBON CONTAMINATION REMOVAL IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY
PB  - Masarykova univerzita; Jednota českých matematiků a fyziků
CY  - Brno
SN  - 9788021083189
KW  - plasma
KW  - discharge
KW  - WPR-CDBD
KW  - decontamination
UR  - https://munispace.muni.cz/index.php/munispace/catalog/book/836
N2  - Unwanted organic contamination of the surface of SEM samples or vacuum chambers often causes reductions of the SEM image quality, e. g. brightness or contrast of image, which worsen over time. This is the reason why the regular cleaning of the surface of the sample or vacuum chamber is necessary. In the presented paper, a novel method for SEM samples organic decontamination based on wide-pressure-range coplanar dielectric barrier discharge was investigated. WPR-CDBD efficiency for various organic compounds’ removal, including heavy hydrocarbons, was proved. Comparison with standard commercial plasma decontaminator XEI working with remote plasma was made.
ER  -

DUGÁČEK, Ján, Pavel SŤAHEL, Jan ČECH a Jana JURMANOVÁ. WIDE-PRESSURE-RANGE COPLANAR DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE FOR HYDROCARBON CONTAMINATION REMOVAL IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY. In Mirko Černák, Tomáš Hoder. \textit{Hakone XV: International Symposium on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistrywith joint COST TD1208 workshop Non-Equilibrium Plasmas with Liquids for Water and Surface Treatment. Book of Contributed Papers}. Brno: Masarykova univerzita; Jednota českých matematiků a fyziků, 2016, s.~287-290. ISBN~978-80-210-8318-9.

Podrobný výpis o publikaci