2017
STUDY OF NITROGEN DOPED ORGANOSILICON PLASMA POLYMER THIN FILMS
BITTNEROVÁ, Štěpánka, Vilma BURŠÍKOVÁ, Monika STUPAVSKÁ a Vojtěch HOMOLAZákladní údaje
Originální název
STUDY OF NITROGEN DOPED ORGANOSILICON PLASMA POLYMER THIN FILMS
Název česky
Studium dusíkem dopovaných organosilikonových tenkých vrstev
Autoři
BITTNEROVÁ, Štěpánka (203 Česká republika, domácí), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, garant, domácí), Monika STUPAVSKÁ (703 Slovensko, domácí) a Vojtěch HOMOLA (203 Česká republika)
Vydání
Brno, 8TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOMATERIALS - RESEARCH & APPLICATION (NANOCON 2016), od s. 727-732, 6 s. 2017
Nakladatel
TANGER Ltd
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Forma vydání
paměťový nosič (CD, DVD, flash disk)
Kód RIV
RIV/00216224:14310/17:00095984
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
978-80-87294-71-0
UT WoS
000410656100126
Klíčová slova česky
tenké vrstvy; hexamethyldisiloxan; PECVD; FTIR; XPS; AFM; nanoindentace
Klíčová slova anglicky
thin films; hexamethyldisiloxane; PECVD; FTIR; XPS; AFM; nanoindentation
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 24. 3. 2018 16:25, Ing. Nicole Zrilić
V originále
Plasma polymerized hexamethyldisiloxane coatings have been attracting interest of many researches. Due to their properties, these materials have a great potential to succeed in large field of applications such as protective anti-scratch layers on plastic substrates, corrosion protection coatings, barrier films for pharmaceutical packaging etc. Functionalized organosilicon plasma polymers have been investigated for development of unique biomaterials. Addition of a suitable dopant during plasma polymerization is one of the ways to form specific functionalities modulating chemistry, physical properties as well as biocompatibility of the films. In the present work, low pressure RF capacitively coupled discharge was used to deposit organosilicon thin films with nitrogen-containing functional groups on single crystalline silicon substrates. Resulting plasma polymers were investigated by several methods aimed primarily at determination of chemical composition, surface microstructure and mechanical properties. The present study includes results of Fourier transform infrared spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy, confocal microscopy, atomic force microscopy and nanoindentation, and their comparison with respect to deposition parameters.
Česky
Přidání vhodného dopantu během plazmové polymerace je jedním ze způsobů, jak vytvářet specifické funkční skupiny modifikující chemii, fyzikální vlastnosti a biokompatibilitu filmů. V současných pracích se používal nízkotlaký RF kapacitně vázaný výboj pro přípravu tenkých vrstev s funkčními skupinami obsahujícími dusík na substráty monokrystalického křemíku. Výsledné plazmové polymery byly zkoumány několika metodami zaměřenými především na stanovení chemického složení, povrchové mikrostruktury a mechanických vlastností. Součástí této studie jsou výsledky FT infračervené spektroskopie, rentgenové fotoelektronové spektroskopie, konfokální mikroskopie, mikroskopie atomárních sil a nanoindentace.
Návaznosti
| LO1411, projekt VaV |
|