a 2017

Study of spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma

KLEIN, Peter, Francis LOCKWOOD ESTRIN, Jaroslav HNILICA, Petr VAŠINA, James W. BRADLEY et. al.

Základní údaje

Originální název

Study of spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma

Název česky

Studium rotace, spajení a rozpájení spoků v HiPIMS plasmatu

Autoři

KLEIN, Peter (703 Slovensko, domácí), Francis LOCKWOOD ESTRIN (826 Velká Británie a Severní Irsko), Jaroslav HNILICA (203 Česká republika, domácí), Petr VAŠINA (203 Česká republika, domácí) a James W. BRADLEY (826 Velká Británie a Severní Irsko)

Vydání

Eighth edition of the International Conference on HIPIMS, 2017

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Německo

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/17:00094904

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

Magnetron; HiPIMS; spokes

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 29. 8. 2017 16:48, Mgr. Peter Klein, Ph.D.

Anotace

V originále

Study of self-organized structures called spokes was performed in the HiPIMS plasma using simultaneous broadband optical screening via ICCD camera (200 ns time scale) and the embedded probes measuring the local current delivered by the spoke to the target. As a spoke passed over a set of embedded probes in the niobium cathode target, a distinct local current modulation is observed. Typically the current modulation was up to twice the average value, matching well with the radially integrated optical emission intensities obtained by the ICCD. The dual diagnostic system enabled the observation of a set of spokes as they rotated and the events of the spoke merging and splitting were recorded. The two spokes with similar sizes and intensities were observed to merge into one larger spoke, while the retaining the velocity of the trailing spoke. In the merged spoke both the plasma emission intensity and current collected by the embedded probes was redistributed to have their maximum at a trailing edge. The reverse process, in which spokes split was also observed. The total charge collected by the embedded probes during the spoke splitting was conserved. After the spoke merging or splitting events occurred, the new spoke configuration was not always stable in time. Often the large spoke split into two smaller spokes only to reform a short time later. However for a given experimental conditions only a slight variation from the average mode number m was observed (typically a change of m = 1). In addition a simple phenomenological model was developed to relate the spoke mode number m with the spoke dimensions, spoke velocity and gas atom velocity.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GA15-00863S, projekt VaV
Název: Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
LO1411, projekt VaV
Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy