2017
Ellipsometry of surface layers on a 1-kg sphere from natural silicon
KLENOVSKÝ, Petr, Jaroslav ZŮDA, Petr KLAPETEK a Josef HUMLÍČEKZákladní údaje
Originální název
Ellipsometry of surface layers on a 1-kg sphere from natural silicon
Autoři
KLENOVSKÝ, Petr (203 Česká republika, domácí), Jaroslav ZŮDA (203 Česká republika), Petr KLAPETEK (203 Česká republika, domácí) a Josef HUMLÍČEK (203 Česká republika, garant, domácí)
Vydání
Applied Surface Science, AMSTERDAM, ELSEVIER SCIENCE BV, 2017, 0169-4332
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Nizozemské království
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 4.439
Kód RIV
RIV/00216224:14310/17:00097975
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000408756700043
Klíčová slova anglicky
Silicon; Surface layers; Ellipsometry; 1-kg mass standard
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 3. 4. 2018 14:21, Ing. Nicole Zrilić
V originále
We have investigated surface layers on a monocrystalline float-zone, n-type ( 2400-2990 Ohm.cm) sphere with the diameter of 93.6004 mm. Ellipsometric spectra in the visible-ultraviolet range reveals the presence of thin layers of amorphous Si as well as oxide overlayer. We have also prepared a series of flat Si samples, polished using slurries with 1-6 mu m grits; the overlayers were examined by mid-infrared ellipsometry, including the range of polar vibrations of the Si O bonds. AFM measurements on the sphere were used to test the models of its surface. (C) 2016 Elsevier B.V. All rights reserved.
Česky
Studovali jsme povrchové vrstvy na monokrystalické kouli z n-typu zonálního křemíku ( 2400-2990 Ohm.cm) s průměrem 93.6004 mm. Elipsometrická spektra ve viditelné a ultrafialové oblasti dokumentují přítomnost tenkých vrstev amorfního Si a oxidu křemíku, Připravili jsme rovněž sérii plochých vzorků Si, leštěných pomocí zrn v rozsahu 1-6 mikronů; tyto vzorky byly zkoumány elipsometrickou technikou ve střední infračervené oblasti, včetně oboru poláírních vibrací vazeb Si-O. Modely povrchu koule byly testovány pomocí měření AFM.
Návaznosti
| LQ1601, projekt VaV |
|