a 2017

Properties of WBC coatings prepared by magnetron sputtering from industrial segmented target

KROKER, Michael, Pavel SOUČEK, Lukáš ZÁBRANSKÝ, Vilma BURŠÍKOVÁ, Petr VAŠINA et. al.

Základní údaje

Originální název

Properties of WBC coatings prepared by magnetron sputtering from industrial segmented target

Autoři

KROKER, Michael (203 Česká republika, domácí), Pavel SOUČEK (203 Česká republika, domácí), Lukáš ZÁBRANSKÝ (203 Česká republika, domácí), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí)

Vydání

16th International Conference on Reactive Sputter Deposition, 2017

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/17:00095244

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-261-0754-5

Klíčová slova anglicky

WBC; coating; EDS; SEM; RBS; TRIM; SRIM; segmented target; magnetron sputtering

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 30. 8. 2018 10:36, Mgr. Michael Kroker, Ph.D.

Anotace

V originále

W-B-C coatings in this study were synthesized using magnetron sputtering from a single segmented cylindrical target in an industrial configuration. Advanced segmented target was used to precise controlling chemical composition of coating. The target was composed of W, C, B4C cylindrical segments with same radii but different heights. Highly-inhomogeneous coatings were deposited on various substrates to determine the influence of chemical composition on coatings properties afterwards.The depositions were carried out at 450 °C.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GA15-17875S, projekt VaV
Název: Lokální mikrostrukturní změny vyvolané statickou a dynamickou indentací nanostrukturovaných a nanolaminovaných povlaků
Investor: Grantová agentura ČR, Lokální mikrostrukturní změny vyvolané statickou a dynamickou indentací nanostrukturovaných a nanolaminovaných povlaků
LO1411, projekt VaV
Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
MUNI/C/1657/2016, interní kód MU
Název: Syntéza a charakterizace tenkých vrstev s nanolaminátní mikrostrukturou
Investor: Masarykova univerzita, Syntéza a charakterizace tenkých vrstev s nanolaminátní mikrostrukturou, DO R. 2020 - Program rektora