2017
Report on spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma
KLEIN, Peter, Jaroslav HNILICA, Francis LOCKWOOD ESTRIN, Petr VAŠINA, James W. BRADLEY et. al.Základní údaje
Originální název
Report on spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma
Autoři
KLEIN, Peter (703 Slovensko, domácí), Jaroslav HNILICA (203 Česká republika, domácí), Francis LOCKWOOD ESTRIN (826 Velká Británie a Severní Irsko), Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí) a James W. BRADLEY (826 Velká Británie a Severní Irsko)
Vydání
16th International Conference on Reactive Sputter Deposition, 2017
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Konferenční abstrakt
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/17:00095252
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
978-80-261-0754-5
Klíčová slova česky
magnetrón; spoky; HiPIMS
Klíčová slova anglicky
magnetron; spokes; HiPIMS
Příznaky
Mezinárodní význam
Změněno: 11. 12. 2017 10:04, Mgr. Peter Klein, Ph.D.
Anotace
V originále
The presented spoke study was performed in both non-reactive as well as reactive nitrogen HiPIMS plasma using simultaneous broadband optical screening via ICCD camera (200 ns time scale) and strip probes embedded into the niobium target. Strip probes measured actual local current delivered to the target. Spoke merging and splitting was detected by both employed methods.
Návaznosti
| ED2.1.00/03.0086, projekt VaV |
| ||
| GA15-00863S, projekt VaV |
| ||
| LO1411, projekt VaV |
|