Universal dispersion model for characterization of optical thin
films over wide spectral range: Application to magnesium
fluoride

J 2017

Universal dispersion model for characterization of optical thin films over wide spectral range: Application to magnesium fluoride

FRANTA, Daniel; David NEČAS; Angelo GIGLIA; Pavel FRANTA; Ivan OHLÍDAL et al.

Základní údaje

Originální název

Universal dispersion model for characterization of optical thin films over wide spectral range: Application to magnesium fluoride

Autoři

FRANTA, Daniel; David NEČAS; Angelo GIGLIA; Pavel FRANTA a Ivan OHLÍDAL

Vydání

Applied Surface Science, Amsterdam, Elsevier Science, 2017, 0169-4332

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Nizozemské království

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Impakt faktor

Impact factor: 4.439

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/17:00094431

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

Optical constants;Ellipsometry;Spectrophotometry;Sum rule

Štítky

NZ, rivok

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

Změněno: 12. 4. 2018 17:44, Ing. Nicole Zrilić

Anotace

V originále

Optical characterization of magnesium fluoride thin films is performed in a wide spectral range from far infrared to extreme ultraviolet (0.01-45 eV) utilizing the universal dispersion model. Two film defects, i.e. random roughness of the upper boundaries and defect transition layer at lower boundary are taken into account. An extension of universal dispersion model consisting in expressing the excitonic contributions as linear combinations of Gaussian and truncated Lorentzian terms is introduced. The spectral dependencies of the optical constants are presented in a graphical form and by the complete set of dispersion parameters that allows generating tabulated optical constants with required range and step using a simple utility in the newAD2 software package.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV

Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy

LO1411, projekt VaV

Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy

LQ1601, projekt VaV

Název: CEITEC 2020 (Akronym: CEITEC2020)

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, CEITEC 2020

TA02010784, projekt VaV

Název: Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu

Investor: Technologická agentura ČR, Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu

Přiložené soubory

1-s2.0-S016943321632030X-main.pdf

Požádat o autorskou verzi souboru

Citovat

FRANTA, Daniel; David NEČAS; Angelo GIGLIA; Pavel FRANTA a Ivan OHLÍDAL. Universal dispersion model for characterization of optical thin films over wide spectral range: Application to magnesium fluoride. Applied Surface Science. Amsterdam: Elsevier Science, 2017, roč. 421, November, s. 424-429. ISSN 0169-4332. Dostupné z: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2016.09.149.

@article{1409188,
   author = {Franta, Daniel and Nečas, David and Giglia, Angelo and Franta, Pavel and Ohlídal, Ivan},
   article_location = {Amsterdam},
   article_number = {November},
   doi = {https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2016.09.149},
   keywords = {Optical constants;Ellipsometry;Spectrophotometry;Sum rule},
   language = {eng},
   issn = {0169-4332},
   journal = {Applied Surface Science},
   title = {Universal dispersion model for characterization of optical thin films over wide spectral range: Application to magnesium fluoride},
   url = {https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943321632030X},
   volume = {421},
   year = {2017}
}

TY  - JOUR
ID  - 1409188
AU  - Franta, Daniel - Nečas, David - Giglia, Angelo - Franta, Pavel - Ohlídal, Ivan
PY  - 2017
TI  - Universal dispersion model for characterization of optical thin films over wide spectral range: Application to magnesium fluoride
JF  - Applied Surface Science
VL  - 421
IS  - November
SP  - 424-429
EP  - 424-429
PB  - Elsevier Science
SN  - 01694332
KW  - Optical constants;Ellipsometry;Spectrophotometry;Sum rule
UR  - https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943321632030X
N2  - Optical characterization of magnesium fluoride thin films is performed in a wide spectral range from far infrared to extreme ultraviolet (0.01-45 eV) utilizing the universal dispersion model. Two film defects, i.e. random roughness of the upper boundaries and defect transition layer at lower boundary are taken into account. An extension of universal dispersion model consisting in expressing the excitonic contributions as linear combinations of Gaussian and truncated Lorentzian terms is introduced. The spectral dependencies of the optical constants are presented in a graphical form and by the complete set of dispersion parameters that allows generating tabulated optical constants with required range and step using a simple utility in the newAD2 software package.
ER  -

FRANTA, Daniel; David NEČAS; Angelo GIGLIA; Pavel FRANTA a Ivan OHLÍDAL. Universal dispersion model for characterization of optical thin films over wide spectral range: Application to magnesium fluoride. \textit{Applied Surface Science}. Amsterdam: Elsevier Science, 2017, roč.~421, November, s.~424-429. ISSN~0169-4332. Dostupné z: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2016.09.149.

Přehled o publikaci