2018
Optical spectroscopy as a tool for visualization of sputtering plasma dynamics
BRITUN, Nikolay, Jaroslav HNILICA a Rony SNYDERSZákladní údaje
Originální název
Optical spectroscopy as a tool for visualization of sputtering plasma dynamics
Autoři
BRITUN, Nikolay (56 Belgie, garant), Jaroslav HNILICA (203 Česká republika, domácí) a Rony SNYDERS (56 Belgie)
Vydání
International Workshop: PLASMA DIAGNOSTICS AND MODELLING, 2018
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Konferenční abstrakt
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/18:00105340
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky
magnetron sputtering; deposition process; LIF
Příznaky
Mezinárodní význam
Změněno: 9. 1. 2019 10:36, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.
Anotace
V originále
This work combines various optical diagnostic methods for in-situ characterization of high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) process. Special attention is devoted to two-dimensional visualization of the ground state sputtered atoms in the discharge volume. Laser-induced fluorescence and optical absorption spectroscopy represent two main diagnostic techniques which have been combined for the discharge diagnostics. As a result of discharge characterization the number densities as well as the particularities of propagation of the neutral and ionized sputtered Ti atoms were significantly clarified. The effects of HiPIMS plasma-on and plasma-off time duration on the Ti ionization as well as on the general evolution of density distribution in the discharge volume have been studied, demonstrating the importance of plasma pulse duration as well as the pulse energy for controlling the discharge properties.
Návaznosti
| LO1411, projekt VaV |
|