D 2018

ENVIRONMENTAL STABILITY OF NITROGEN CONTAINING PLASMA-POLYMERIZED HEXAMETHYLDISILOXANE FILMS

KELAROVÁ, Štěpánka, Roman PŘIBYL, Vojtěch HOMOLA, Richard VÁCLAVIK, Monika STUPAVSKÁ et. al.

Základní údaje

Originální název

ENVIRONMENTAL STABILITY OF NITROGEN CONTAINING PLASMA-POLYMERIZED HEXAMETHYLDISILOXANE FILMS

Název česky

Environmentální stabilita tenkých vrstev hexamethyldisiloxanu s obsahem dusíku připravených pomocí plazmové polymerace

Autoři

KELAROVÁ, Štěpánka (203 Česká republika, domácí), Roman PŘIBYL (203 Česká republika, domácí), Vojtěch HOMOLA (203 Česká republika, domácí), Richard VÁCLAVIK (703 Slovensko, domácí), Monika STUPAVSKÁ (703 Slovensko, domácí), Lukáš KELAR (203 Česká republika, domácí) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, garant, domácí)

Vydání

Brno, 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOMATERIALS - RESEARCH & APPLICATION (NANOCON 2017), od s. 842-847, 6 s. 2018

Nakladatel

TANGER Ltd

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Forma vydání

paměťový nosič (CD, DVD, flash disk)

Kód RIV

RIV/00216224:14310/18:00101810

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-87294-81-9

UT WoS

000452823300140

Klíčová slova česky

Plazmové polymery, plazmochemická depozice z plynné fáze, FTIR, nanoindentace

Klíčová slova anglicky

Plasma polymer films; plasma enhanced chemical vapor deposition; FTIR; nanoindentation

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 30. 4. 2019 10:27, Mgr. Tereza Miškechová

Anotace

ORIG CZ

V originále

Nitrogen incorporated organosilicon films were prepared by means of plasma enhanced chemical vapor deposition using capacitively coupled RF glow discharges in mixtures of hexamethyldisiloxane and nitrogen. The flow rate of nitrogen was 2-10 sccm and the flow rate of hexamethyldisiloxane was 0.3-0.4 sccm. The power supply of CCP was 50 W. The environmental stability of the deposited films was studied using confocal microscopy, spectroscopic ellipsometry and FTIR (Fourier Transform Infrared Spectroscopy). The humidity induced structure changes resulted in substantial change of mechanical properties of the studied films. The mechanical properties were studied using nanoindentation techniques.

Česky

Organosilikonové tenké vrstvy s obsahem dusíku byly připraveny pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze za použití RF kapacitně vázaného doutnavého výboje ze směsi hexamethyldisiloxanu a dusíku.Průtok dusíku se pohyboval v rozmezí 2-10 sccm, průtok hexamethyldisiloxanu byl udržován v rozmezí 0,3-0,4 sccm. Výkon dodávaný do výboje byl 50 W. Stabilita vyrobených tenkých vrstev v okolním prostředí byla studována pomocí konfokální mikroskopie, elipsometrie a FTIR. Strukturální změny studovaných vrstev způsobené okolní vlhkostí měly výrazný vliv na jejich mechanické vlastnosti. Mechanické vlastnosti byly studovány pomocí nanoindentačních metod.

Návaznosti

GA15-17875S, projekt VaV
Název: Lokální mikrostrukturní změny vyvolané statickou a dynamickou indentací nanostrukturovaných a nanolaminovaných povlaků
Investor: Grantová agentura ČR, Lokální mikrostrukturní změny vyvolané statickou a dynamickou indentací nanostrukturovaných a nanolaminovaných povlaků
LO1411, projekt VaV
Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy