k 2019

Spoke behaviour in reactive HiPIMS

KLEIN, Peter, Jaroslav HNILICA, Matej FEKETE a Petr VAŠINA

Základní údaje

Originální název

Spoke behaviour in reactive HiPIMS

Autoři

KLEIN, Peter (703 Slovensko, domácí), Jaroslav HNILICA (203 Česká republika, domácí), Matej FEKETE (703 Slovensko, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant)

Vydání

International Conference on Reactive Sputter Deposition, 2019

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Prezentace na konferencích

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/19:00108113

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

HiPIMS; Spoke; Reaktivní Naprašování

Klíčová slova anglicky

HiPIMS; Spoke; Reactive sputtering
Změněno: 24. 1. 2020 10:33, Mgr. Peter Klein, Ph.D.

Anotace

V originále

Plasma in high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) discharge, similarly to other discharges utilizing ExB field (Hall thrusters, homopolar devices), undergoes self-organization into the ionization zones rotating in the ExB direction, called spokes [1]. Many studies were conducted focusing on the characterization of their appearance, number, rotational velocity, merging and splitting events in different experimental conditions. Nevertheless, only very little research was conducted in the case of reactive sputtering, where only general spoke characteristics were evaluated [2]. A dual-image fast camera screening was utilized to capture plasma emission on 3” Nb target in a reactive mixture of nitrogen and argon. Spoke characteristics were evaluated while overall pressure and supplied power was kept constant and the ratio of N2/Ar was varied. The shape, velocity and spoke number were significantly affected by higher ratio of N2 in the mixture. To distinguish between the effects of the poisoned target and reactive gas present in the plasma on spokes, plasma emission was screened as the Nb target was cleaned in pure Ar atmosphere. Additionally, obtained spoke characteristics were compared to those made on a fully compound NbN target. [1] A. Hecimovic A, A von Keudell, Journal of Physics D: Applied Physics 51 (2018) 453001 [2] A. Hecimovic, C. Corbella, C. Maszl, W. Breilmann, A. and von Keudell, Journal of Applied Physics 121 (2017) 171915

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GA19-00579S, projekt VaV
Název: Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev
LO1411, projekt VaV
Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy