Diagnostics of reactive magnetron sputtering
VAŠINA, Petr, Pavel DVOŘÁK, Tereza SCHMIDTOVÁ, Vilma BURŠÍKOVÁ a Radek ŽEMLIČKA. Diagnostics of reactive magnetron sputtering. 2010. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Diagnostics of reactive magnetron sputtering |
Název česky | Diagnostika reaktivního magnetronového naprašování |
Autoři | VAŠINA, Petr (203 Česká republika, domácí), Pavel DVOŘÁK (203 Česká republika, garant, domácí), Tereza SCHMIDTOVÁ (203 Česká republika, domácí), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí) a Radek ŽEMLIČKA (203 Česká republika, domácí). |
Vydání | 2010. |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | angličtina |
Typ výsledku | Vyžádané přednášky |
Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
Stát vydavatele | Irsko |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
Klíčová slova česky | vyšší harmonické frekvence;plazma;magnetron;diamantu podobné vrstvy |
Klíčová slova anglicky | higher harmonic frequencies;plasma;magnetron;DLC |
Příznaky | Mezinárodní význam, Recenzováno |
Změnil | Změnil: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Změněno: 15. 12. 2020 17:38. |
Anotace |
---|
Monitoring of reactive magnetron sputtering and thin film deposition/etching by means of higher harmonic frequencies. |
Anotace česky |
---|
Sledování reaktivního magnetronového naprošování a depozice/leptání tenkých diamantu podobných vrstev pomocí měření vyšších harmonických frekvencí. |
Návaznosti | |
---|---|
GA202/07/1669, projekt VaV | Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích |
Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích | |
GP202/08/P038, projekt VaV | Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev |
Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev | |
MSM0021622402, záměr | Název: Časná diagnostika a léčba kardiovaskulárních chorob |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Časná diagnostika a léčba kardiovaskulárních chorob |
VytisknoutZobrazeno: 13. 10. 2024 06:46