Spatial-resolved optical emission spectroscopy of the spoke in
non-reactive HiPIMS

D 2021

Spatial-resolved optical emission spectroscopy of the spoke in non-reactive HiPIMS

ŠLAPANSKÁ, Marta, Michael KROKER, Jaroslav HNILICA, Peter KLEIN, Petr VAŠINA et. al.

Základní údaje

Originální název

Spatial-resolved optical emission spectroscopy of the spoke in non-reactive HiPIMS

Autoři

ŠLAPANSKÁ, Marta, Michael KROKER, Jaroslav HNILICA, Peter KLEIN a Petr VAŠINA

Vydání

first issue. Bratislava, Slovakia, 23rd Symposium on Application of Plasma Processes, Book of Contributed Papers, od s. 85-88, 93 s. 2021

Nakladatel

DEP FMPI; Society for Plasma Research and Applications in cooperation with Library and Publishing Centre CU Bratislava, Slovakia

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Forma vydání

elektronická verze "online"

Odkazy

URL

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-8147-101-8

Klíčová slova anglicky

HiPIMS, ionisation zones, spokes, optical emission spectroscopy, titanium

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

Změněno: 16. 3. 2021 17:06, Mgr. Marta Šlapanská, Ph.D.

Návaznosti

GA19-00579S, projekt VaV

Název: Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev

Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev

90097, velká výzkumná infrastruktura

Název: CEPLANT

Citovat

ŠLAPANSKÁ, Marta, Michael KROKER, Jaroslav HNILICA, Peter KLEIN a Petr VAŠINA. Spatial-resolved optical emission spectroscopy of the spoke in non-reactive HiPIMS. Online. In V. Medvecká, P. Papp, J. Országh, Š. Matejčík. 23rd Symposium on Application of Plasma Processes, Book of Contributed Papers. first issue. Bratislava, Slovakia: DEP FMPI; Society for Plasma Research and Applications in cooperation with Library and Publishing Centre CU Bratislava, Slovakia, 2021, s. 85-88, 93 s. ISBN 978-80-8147-101-8.

@inproceedings{1752676,
   author = {Šlapanská, Marta and Kroker, Michael and Hnilica, Jaroslav and Klein, Peter and Vašina, Petr},
   address = {Bratislava, Slovakia},
   booktitle = {23rd Symposium on Application of Plasma Processes, Book of Contributed Papers},
   edition = {first issue},
   editor = {V. Medvecká, P. Papp, J. Országh, Š. Matejčík},
   keywords = {HiPIMS, ionisation zones, spokes, optical emission spectroscopy, titanium},
   howpublished = {elektronická verze "online"},
   language = {eng},
   location = {Bratislava, Slovakia},
   isbn = {978-80-8147-101-8},
   pages = {85-88},
   publisher = {DEP FMPI; Society for Plasma Research and Applications in cooperation with Library and Publishing Centre CU Bratislava, Slovakia},
   title = {Spatial-resolved optical emission spectroscopy of the spoke in non-reactive HiPIMS},
   url = {http://neon.dpp.fmph.uniba.sk/sapp/},
   year = {2021}
}

TY  - JOUR
ID  - 1752676
AU  - Šlapanská, Marta - Kroker, Michael - Hnilica, Jaroslav - Klein, Peter - Vašina, Petr
PY  - 2021
TI  - Spatial-resolved optical emission spectroscopy of the spoke in non-reactive HiPIMS
PB  - DEP FMPI; Society for Plasma Research and Applications in cooperation with Library and Publishing Centre CU Bratislava, Slovakia
CY  - Bratislava, Slovakia
SN  - 9788081471018
KW  - HiPIMS, ionisation zones, spokes, optical emission spectroscopy, titanium
UR  - http://neon.dpp.fmph.uniba.sk/sapp/
ER  -

ŠLAPANSKÁ, Marta, Michael KROKER, Jaroslav HNILICA, Peter KLEIN a Petr VAŠINA. Spatial-resolved optical emission spectroscopy of the spoke in non-reactive HiPIMS. Online. In V. Medvecká, P. Papp, J. Országh, Š. Matejčík. \textit{23rd Symposium on Application of Plasma Processes, Book of Contributed Papers}. first issue. Bratislava, Slovakia: DEP FMPI; Society for Plasma Research and Applications in cooperation with Library and Publishing Centre CU Bratislava, Slovakia, 2021, s.~85-88, 93 s. ISBN~978-80-8147-101-8.

Podrobný výpis o publikaci