p 2021

Higher harmonic frequencies in a capacitively coupled plasma

DVOŘÁK, Pavel, Radek ŽEMLIČKA, Roman PŘIBYL, Maroš TKÁČIK, Juraj PÁLENIK et. al.

Základní údaje

Originální název

Higher harmonic frequencies in a capacitively coupled plasma

Název česky

Vyšší harmonické frekvence v kapacitně vázaném plazmatu

Autoři

DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant, domácí), Radek ŽEMLIČKA (203 Česká republika), Roman PŘIBYL (203 Česká republika, domácí), Maroš TKÁČIK (703 Slovensko), Juraj PÁLENIK (703 Slovensko), Petr VAŠINA (203 Česká republika, domácí), Petr SKOPAL (203 Česká republika, domácí), Zdeněk NAVRÁTIL (203 Česká republika, domácí) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí)

Vydání

8th Plasma Science & Entrepreneurship Workshop, 2021

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Vyžádané přednášky

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/21:00119328

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

vyšší harmonické frekvence;plazma;kapacitně vázané výboje

Klíčová slova anglicky

higher harmonic frequencies;plasma;capacitively coupled discharges

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 28. 1. 2022 13:45, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Nonlinear nature of sheaths leads to nonlinear VA characteristics and generation of higher harmonic frequencies in capacitively coupled discharges. Higher harmonic frequencies are known to influence heating of electrons, especially at low pressure, and to be very sensitive to number of discharge parameters, which enables to use higher harmonics for monitoring of various deposition and etching processes. The presentation summarizes the topic of probe measurements of higher harmonic frequencies of plasma potential, nonlinear modeling of behaviour of higher harmonic frequencies in capacitive discharges and explanation of the mechanism which leads to the sensitive reaction of higher harmonics on the presence of a deposited or etched thin film.

Česky

Shrnutí výsledků získaných pří výzkumu vyšších harmonických frekvencí spontánně generovaných v kapacitně vázaných výbojích.

Návaznosti

GA19-15240S, projekt VaV
Název: Multifunkční nanokompozitní polymerní tenké vrstvy s řízenými povrchovými a mechanickými vlastnostmi připravené v RF prachovém plazmatu
Investor: Grantová agentura ČR, Multifunkční nanokompozitní polymerní tenké vrstvy s řízenými povrchovými a mechanickými vlastnostmi připravené v RF prachovém plazmatu
LM2018097, projekt VaV
Název: Centrum výzkumu a vývoje plazmatu a nanotechnologických povrchových úprav (Akronym: CEPLANT)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, R&D centre for plasma and nanotechnology surface modifications