a 2021

Dynamics of the titanium ground state atoms and ions in HiPIMS discharge

HNILICA, Jaroslav, Peter KLEIN, Petr VAŠINA, Rony SNYDERS, Nikolay BRITUN et. al.

Základní údaje

Originální název

Dynamics of the titanium ground state atoms and ions in HiPIMS discharge

Autoři

HNILICA, Jaroslav, Peter KLEIN, Petr VAŠINA, Rony SNYDERS a Nikolay BRITUN

Vydání

International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films 2021, 2021

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

magnetron sputtering; LIF; AAS; plasma diagnostics

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 11. 1. 2022 09:21, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.

Anotace

V originále

This contribution reports on plasma diagnostics of HiPIMS discharge by laser-induced fluorescence and atomic absorption spectroscopy. As a result of discharge characterization, the number densities, as well as temporal propagation of the neutral and ionized sputtered titanium atoms were determined. The results obtained in this study can be utilized to control the ionization degree, sputtering rate, as well as the other discharge parameters in industrial deposition processes involving HiPIMS discharges.

Návaznosti

GA19-00579S, projekt VaV
Název: Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev
LM2018097, velká výzkumná infrastruktura
Název: Centrum výzkumu a vývoje plazmatu a nanotechnologických povrchových úprav (Akronym: CEPLANT)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, R&D centre for plasma and nanotechnology surface modifications