2021
Time-resolved sputtered species number density in Ar/N2 HiPIMS
BERNÁTOVÁ, Katarína, Peter KLEIN, Matej FEKETE, Jaroslav HNILICA, Petr VAŠINA et. al.Základní údaje
Originální název
Time-resolved sputtered species number density in Ar/N2 HiPIMS
Název česky
Časově rozlišená studie hustoty rozprášených častíc v Ar/N2 HiPIMS procesu
Autoři
BERNÁTOVÁ, Katarína (703 Slovensko, garant, domácí), Peter KLEIN (703 Slovensko, domácí), Matej FEKETE (703 Slovensko, domácí), Jaroslav HNILICA (203 Česká republika, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, domácí)
Vydání
HiPIMS Today Virtual Conference, 2021
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Prezentace na konferencích
Obor
10303 Particles and field physics
Stát vydavatele
Velká Británie a Severní Irsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Kód RIV
RIV/00216224:14310/21:00119557
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova česky
diagnostika plazmy; HiPIMS; hustota titanu; dusík; OES; EBF
Klíčová slova anglicky
plasma diagnostic; HiPIMS; titanium density; nitrogen; OES; EBF
Změněno: 13. 1. 2022 10:25, Mgr. Marie Šípková, DiS.
V originále
The online presentation described the temporal evolution of sputtered titanium atoms and titanium ions ground state densities in the target and substrate region, for four different nitrogen gas flow, and for two differently powered pulses.
Česky
Online prezentace popísala časový vývoj hustoty rozprašovaných titanových atomů a titanových iontů v oblasti terče a substrátu, pro čtyři různé hodnoty průtoku dusíku a pro dva různě intenzivní pulzy.
Návaznosti
| GA19-00579S, projekt VaV |
| ||
| LM2018097, projekt VaV |
|