Metody měření polovodičových součástek: rtg, optická spektroskopie
CAHA, Ondřej a Josef HUMLÍČEK. Metody měření polovodičových součástek: rtg, optická spektroskopie. ON Semiconductor, 2020. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Metody měření polovodičových součástek: rtg, optická spektroskopie |
Název anglicky | Masurement methods of semiconductor devices: X-ray, optical spectroscopy |
Autoři | CAHA, Ondřej (203 Česká republika, garant, domácí) a Josef HUMLÍČEK (203 Česká republika, domácí). |
Vydání | 2020. |
Nakladatel | ON Semiconductor |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | čeština |
Typ výsledku | Projekty výzkumu a vývoje |
Obor | 10302 Condensed matter physics |
Stát vydavatele | Česká republika |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Kód RIV | RIV/00216224:14740/20:00120005 |
Organizační jednotka | Středoevropský technologický institut |
Klíčová slova anglicky | semiconductors; silicon; X-ray diffraction; optical spectroscopy |
Štítky | rivok |
Příznaky | Mezinárodní význam |
Změnil | Změnila: Mgr. Pavla Foltynová, Ph.D., učo 106624. Změněno: 2. 3. 2022 14:51. |
Anotace |
---|
Výzkumná zpráva se zabývá metodami analýz polovodičových součástek. Popsány jsou metody rtg difrakce pro detekci elastického napětí, mapování gradientu dopingu v silně legovaném křemíku. Dále pak optickou spektroskopií k určování koncentrací příměsí v silně legovaném polovodiči. |
Anotace anglicky |
---|
The report deals with methods of semiconductor material analysis. X-ray diffraction methods of elastic strain determination, doping inhomogeneities is highly doped silicon. The optical spectroscopy was used to determine impurity concentration in highly doped silicon wafers. |
Návaznosti | |
---|---|
TH03010006, projekt VaV | Název: Výzkum a vývoj vysokonapěťových Si diod pro efektivní konverzi vysokých proudových výkonů |
Investor: Technologická agentura ČR, Výzkum a vývoj vysokonapěťových Si diod pro efektivní konverzi vysokých proudových výkonů |
VytisknoutZobrazeno: 7. 9. 2024 17:42