Ellipsometry of thin films

OHLÍDAL, Ivan a Daniel FRANTA. Ellipsometry of thin films. Acta Physica Slovaca. Bratislava: Institute of Physics, SAS, 1998, roč. 48, č. 4, s. 459-468. ISSN 0323-0465.

Základní údaje

Originální název

Ellipsometry of thin films

Autoři

OHLÍDAL, Ivan (203 Česká republika, garant) a Daniel FRANTA (203 Česká republika)

Vydání

Acta Physica Slovaca, Bratislava, Institute of Physics, SAS, 1998, 0323-0465

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Kód RIV

RIV/00216224:14310/98:00002060

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000075856700006

---

Anotace

V originále

In this paper a brief review of ellipsometric methods is presented for analyzing thin films. Examples of using these methods will be introduced as well. By means of results obtained using the ellipsometric methods introduced their practical meaning will be illustrated. It will be shown that the ellipsometric method can be tilized for analyzing single layers and multilayer systems in it successful way.

---

Návaznosti

GA202/98/0988, projekt VaV	Název: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
VS96084, projekt VaV	Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze