Structural characterization of lamellar multilayer gratings by
X-ray reflectivity and scanning electron microscopy

J 1999

Structural characterization of lamellar multilayer gratings by X-ray reflectivity and scanning electron microscopy

JERGEL, M., Petr MIKULÍK, E. MAJKOVÁ, Š. LUBY, R. SENDERÁK et. al.

Základní údaje

Originální název

Structural characterization of lamellar multilayer gratings by X-ray reflectivity and scanning electron microscopy

Název česky

Strukturní charakterizace planárních W/Si vrstevnatých mřížek rtg reflektivitou a skenovací elektronovou mikroskopií

Autoři

JERGEL, M., Petr MIKULÍK (203 Česká republika, garant), E. MAJKOVÁ, Š. LUBY, R. SENDERÁK, E. PINČÍK, M. BRUNEL, I. KOSTIČ a A. KONEČNÍKOVÁ

Vydání

J. Phys. D: Appl. Phys. Velká Britanie, IOP Publishing Ltd, 1999, 0022-3727

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Impakt faktor

Impact factor: 1.188

Kód RIV

RIV/00216224:14310/99:00000993

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000080730000044

Klíčová slova anglicky

gratings; multilayers; x-ray reflectivity

Štítky

gratings, multilayers, x-ray reflectivity

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

Změněno: 12. 2. 2007 18:56, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Structural characterization of a fully etched amorphous W/Si multilayer grating with lateral periodicity 800 nm is performed by x-ray reflectivity. Grating truncation rod profiles have been calculated using a matrix modal eigenvalue approach of the dynamical theory of reflectivity by gratings which generalizes the Fresnel transmission and reflection coefficients for lateral diffraction. The interface roughness in rough gratings has been taken into account by a coherent amplitude approach which damps the generalized Fresnel coefficients. Scanning electron microscopy pictures complete the study.

Česky

Strukturní charakterizace leptaných amorfních W/Si vrstevnatých mřížek s laterální periodicitou 800 nm rtg reflektivitou. Drsnost rozhraní byla vzata do úvahy přístupem utlumení koherentní amplitudy u zobecněných Fresnelových koeficientů.

Návaznosti

MSM 143100002, záměr

Název: Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur

Citovat

JERGEL, M., Petr MIKULÍK, E. MAJKOVÁ, Š. LUBY, R. SENDERÁK, E. PINČÍK, M. BRUNEL, I. KOSTIČ a A. KONEČNÍKOVÁ. Structural characterization of lamellar multilayer gratings by X-ray reflectivity and scanning electron microscopy. J. Phys. D: Appl. Phys. Velká Britanie: IOP Publishing Ltd, 1999, roč. 32, č. 9999, s. A220, 4 s. ISSN 0022-3727.

@article{205366,
   author = {Jergel, M. and Mikulík, Petr and Majková, E. and Luby, Š. and Senderák, R. and Pinčík, E. and Brunel, M. and Kostič, I. and Konečníková, A.},
   article_location = {Velká Britanie},
   article_number = {9999},
   keywords = {gratings; multilayers; x-ray reflectivity},
   language = {eng},
   issn = {0022-3727},
   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
   title = {Structural characterization of lamellar multilayer gratings by X-ray reflectivity and scanning electron microscopy},
   url = {http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#JergelMikulikXTOP98},
   volume = {32},
   year = {1999}
}

TY  - JOUR
ID  - 205366
AU  - Jergel, M. - Mikulík, Petr - Majková, E. - Luby, Š. - Senderák, R. - Pinčík, E. - Brunel, M. - Kostič, I. - Konečníková, A.
PY  - 1999
TI  - Structural characterization of lamellar multilayer gratings by X-ray reflectivity and scanning electron microscopy
JF  - J. Phys. D: Appl. Phys.
VL  - 32
IS  - 9999
SP  - A220
EP  - A220
PB  - IOP Publishing Ltd
SN  - 00223727
KW  - gratings
KW  - multilayers
KW  - x-ray reflectivity
UR  - http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#JergelMikulikXTOP98
N2  - Structural characterization of a fully etched amorphous W/Si multilayer grating with lateral periodicity 800 nm is performed by x-ray reflectivity. Grating truncation rod profiles have been calculated using a matrix modal eigenvalue approach of the dynamical theory of reflectivity by gratings which generalizes the Fresnel transmission and reflection coefficients for lateral diffraction. The interface roughness in rough gratings has been taken into account by a coherent amplitude approach which damps the generalized Fresnel coefficients. Scanning electron microscopy pictures complete the study.
ER  -

JERGEL, M., Petr MIKULÍK, E. MAJKOVÁ, Š. LUBY, R. SENDERÁK, E. PINČÍK, M. BRUNEL, I. KOSTIČ a A. KONEČNÍKOVÁ. Structural characterization of lamellar multilayer gratings by X-ray reflectivity and scanning electron microscopy. \textit{J. Phys. D: Appl. Phys.}. Velká Britanie: IOP Publishing Ltd, 1999, roč.~32, č.~9999, s.~A220, 4 s. ISSN~0022-3727.

Podrobný výpis o publikaci