Mechanical Properties of Thin Films Prepared by PECVD under Various Deposition Conditions

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Jan JANČA. Mechanical Properties of Thin Films Prepared by PECVD under Various Deposition Conditions. In 11th Symposium on Elementary Processes and Chemical Reactions in Low Temperature Plasma. 1. vyd. Bratislava: MFF UK, Bratislava, 1998, s. 192-195. ISBN 80-967454-6-8.

Základní údaje

Originální název

Mechanical Properties of Thin Films Prepared by PECVD under Various Deposition Conditions

Autoři

BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika)

Vydání

1. vyd. Bratislava, 11th Symposium on Elementary Processes and Chemical Reactions in Low Temperature Plasma, s. 192-195, 1998

Nakladatel

MFF UK, Bratislava

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-967454-6-8

Klíčová slova anglicky

mechanical properties; thin Films; PECVD

Štítky

mechanical properties, PECVD, thin films

Příznaky

Mezinárodní význam

---

Anotace

V originále

Mechanical Properties of Thin Films Prepared by PECVD under Various Deposition Conditions

Česky

Mechanical Properties of Thin Films Prepared by PECVD under Various Deposition Conditions