D 1998

Influence of Deposition Parameters on Mechanical Properties opf SiO2-like Protective Coatings

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Jan JANČA

Základní údaje

Originální název

Influence of Deposition Parameters on Mechanical Properties opf SiO2-like Protective Coatings

Autoři

BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika)

Vydání

1. vyd. Praha, ICPP, s. 918-921, 1998

Nakladatel

Ústav fyziky plazmatu ČAV, Praha

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

mechanical propertires; thin Films; PECVD

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 17. 7. 2007 17:25, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Anotace

V originále

Influence of Deposition Parameters on Mechanical Properties opf SiO2-like Protective Coatings