ČEŠKA, Zbyněk, Jan JANČA a M. DVOŘÁK. ECR plasma deposition of thin films. In WDS 98. 1. vyd. Praha: Karlova univerzita, Praha, 1998, s. 327-331. ISBN 80-85863-29-4.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název ECR plasma deposition of thin films
Autoři ČEŠKA, Zbyněk, Jan JANČA a M. DVOŘÁK.
Vydání 1. vyd. Praha, WDS 98, s. 327-331, 1998.
Nakladatel Karlova univerzita, Praha
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Stať ve sborníku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Česká republika
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
ISBN 80-85863-29-4
Klíčová slova anglicky ECR plasma; thin films
Štítky ECR plasma, thin films
Změnil Změnil: prof. RNDr. Jan Janča, DrSc., učo 29. Změněno: 17. 6. 1999 14:10.
VytisknoutZobrazeno: 7. 8. 2024 07:27