Diagnostics of RF Plasma During CNx Film Deposition

ELIÁŠ, Marek a Jan JANČA. Diagnostics of RF Plasma During CNx Film Deposition. In 11th Symposium on Elementary Processes and Chemical Reactions in Low Temperature Plasma. 1. vyd. Bratislava: MFF UK, Bratislava, 1998, s. 54-57. Part 1. ISBN 80-967454-6-8.

Základní údaje

Originální název

Diagnostics of RF Plasma During CNx Film Deposition

Autoři

ELIÁŠ, Marek a Jan JANČA

Vydání

1. vyd. Bratislava, 11th Symposium on Elementary Processes and Chemical Reactions in Low Temperature Plasma, s. 54-57, Part 1, 1998

Nakladatel

MFF UK, Bratislava

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-967454-6-8

Klíčová slova anglicky

diagnostics; RF plasma; CNx films

Štítky

CNx films, diagnostics, RF plasma