Optical Characterisation of Carbon Containing Films Deposited by Plasma Enhanced CVD

ZAJÍČKOVÁ, Lenka, Vilma BURŠÍKOVÁ a Jan JANČA. Optical Characterisation of Carbon Containing Films Deposited by Plasma Enhanced CVD. In 11th Symposium on Elementary Processes and Chemical Reactions in Low Temperature Plasma. 1. vyd. Bratislava: MFF UK, Bratislava, 1998, s. 170-173. ISBN 80-967454-6-8.

Základní údaje

Originální název

Optical Characterisation of Carbon Containing Films Deposited by Plasma Enhanced CVD

Autoři

ZAJÍČKOVÁ, Lenka (203 Česká republika, garant), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika)

Vydání

1. vyd. Bratislava, 11th Symposium on Elementary Processes and Chemical Reactions in Low Temperature Plasma, s. 170-173, 1998

Nakladatel

MFF UK, Bratislava

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-967454-6-8

Klíčová slova anglicky

carbon films; deposition; PECVD

Štítky

carbon films, deposition, PECVD

Příznaky

Mezinárodní význam

---

Anotace

V originále

Optical Characterisation of Carbon Containing Films Deposited by Plasma Enhanced CVD