ZAJÍČKOVÁ, Lenka, Vilma BURŠÍKOVÁ a Jan JANČA. Influence of Substrate and Electrode Emissivity on Plasma Enhanced CVD. In Proceeding of Thin Film Nucleation Growth and Analysis. 1. vyd. Bratislava, Slovakia: UK Bratislava, Slovakia, 1998, s. 40-48. ISBN 80-227-1063-6.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Influence of Substrate and Electrode Emissivity on Plasma Enhanced CVD
Autoři ZAJÍČKOVÁ, Lenka (203 Česká republika, garant), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika).
Vydání 1. vyd. Bratislava, Slovakia, Proceeding of Thin Film Nucleation Growth and Analysis, s. 40-48, 1998.
Nakladatel UK Bratislava, Slovakia
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Stať ve sborníku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Česká republika
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
ISBN 80-227-1063-6
Klíčová slova anglicky PECVD
Štítky PECVD
Příznaky Mezinárodní význam
Změnil Změnila: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414. Změněno: 17. 7. 2007 17:24.
Anotace
Influence of Substrate and Electrode Emissivity on Plasma Enhanced CVD
VytisknoutZobrazeno: 26. 8. 2024 07:10