1998
Influence of Substrate and Electrode Emissivity on Plasma Enhanced CVD
ZAJÍČKOVÁ, Lenka, Vilma BURŠÍKOVÁ a Jan JANČAZákladní údaje
Originální název
Influence of Substrate and Electrode Emissivity on Plasma Enhanced CVD
Autoři
ZAJÍČKOVÁ, Lenka (203 Česká republika, garant), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika)
Vydání
1. vyd. Bratislava, Slovakia, Proceeding of Thin Film Nucleation Growth and Analysis, s. 40-48, 1998
Nakladatel
UK Bratislava, Slovakia
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
80-227-1063-6
Klíčová slova anglicky
PECVD
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam
Změněno: 17. 7. 2007 17:24, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
Anotace
V originále
Influence of Substrate and Electrode Emissivity on Plasma Enhanced CVD