OHLÍDAL, Ivan, Daniel FRANTA, Miloslav OHLÍDAL, Martin VIČAR a Petr KLAPETEK. Comparison of AFM and optical methods at measuring nanometric surface roughness. In Proceedings of the 3th Seminar on Quantitative Microscopy. Braunschweig, SRN: Physikalisch-Technische Bundesanstalt, 1998, s. 123-129. ISBN 3-89701-280-4.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Comparison of AFM and optical methods at measuring nanometric surface roughness
Autoři OHLÍDAL, Ivan (203 Česká republika, garant), Daniel FRANTA (203 Česká republika), Miloslav OHLÍDAL, Martin VIČAR (203 Česká republika) a Petr KLAPETEK (203 Česká republika).
Vydání Braunschweig, SRN, Proceedings of the 3th Seminar on Quantitative Microscopy, s. 123-129, 1998.
Nakladatel Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Stať ve sborníku
Obor 10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele Německo
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
WWW URL
Kód RIV RIV/00216224:14310/98:00002080
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
ISBN 3-89701-280-4
Změnil Změnil: Mgr. Daniel Franta, Ph.D., učo 2000. Změněno: 19. 12. 2003 19:29.
Anotace
In this contribution a comparison of the values of basic quantities characterizing random nanometric surface roughness determined by AFM and optical methods is presented.
Návaznosti
GA101/98/0772, projekt VaVNázev: Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev
GA202/98/0988, projekt VaVNázev: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
VS96084, projekt VaVNázev: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
VytisknoutZobrazeno: 3. 8. 2024 10:17