Optical methods for surface characterization

OHLÍDAL, Ivan. Optical methods for surface characterization. In 11th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics. Bellingham, Washington, USA: SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1999, s. 429-440. SPIE Proceeding Series, Volume 3820. ISBN 0-8194-3306-3.

Základní údaje

Originální název

Optical methods for surface characterization

Autoři

OHLÍDAL, Ivan

Vydání

Bellingham, Washington, USA, 11th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics, s. 429-440, SPIE Proceeding Series, Volume 3820, 1999

Nakladatel

SPIE - The International Society for Optical Engineering

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/99:00003216

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

0-8194-3306-3

Klíčová slova anglicky

Optical methods; Solid surfaces Thin films

Štítky

optical methods, Solid surfaces Thin films

---

Anotace

V originále

In this review paper a survey of the most significant optical methods usable for characterizing solid surfaces is performed. Examples allowing to show practical features of applying these methods at investigatinthe surfaces mentioned are presented too. By means of these examples both a reliability and accuracy of the methods are namely demonstrated.

---

Návaznosti

GA202/98/0988, projekt VaV

Název: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod