Relationship Between AFM and Optical Measurements at Analyzing Surface Roughness

OHLÍDAL, Ivan, Daniel FRANTA, Petr KLAPETEK a Martin VIČAR. Relationship Between AFM and Optical Measurements at Analyzing Surface Roughness. Jemná mechanika a optika. Přerov: Physical Institute, ASCR, 1999, roč. 44, č. 10, s. 307-311. ISSN 0447-6441.

Základní údaje

Originální název

Relationship Between AFM and Optical Measurements at Analyzing Surface Roughness

Autoři

OHLÍDAL, Ivan (203 Česká republika, garant), Daniel FRANTA (203 Česká republika), Petr KLAPETEK (203 Česká republika) a Martin VIČAR (203 Česká republika)

Vydání

Jemná mechanika a optika, Přerov, Physical Institute, ASCR, 1999, 0447-6441

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10306 Optics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Kód RIV

RIV/00216224:14310/99:00002111

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

---

Anotace

V originále

In this paper a comparison of the values of the basic surface roughness parameters determined by atomic force microscopy and a combined optical method is performed for a chosen sample of SiO2-film with identically randomly rough boundaries placed onto a silicon single crystal wafer. The combined optical method is based on simultaneous interpretation of the experimental data corresponding to variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry. It is shown that the comparison of the results achieved using both the methods mentioned can be successfully performed if the influence influence of individual spatial frequencies of the harmonic components of random surface roughness on the optical quantities measured is based into account.

---

Návaznosti

GA202/98/0988, projekt VaV	Název: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
GV106/96/K245, projekt VaV	Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
VS96084, projekt VaV	Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze