J 1999

A study of the electron energy distribution function in the cylindrical magnetron discharge in argon and xenon

BEHNKE, J.F., E. PASOTH, C. CSAMBAL, Milan TICHÝ, Pavel KUDRNA et. al.

Základní údaje

Originální název

A study of the electron energy distribution function in the cylindrical magnetron discharge in argon and xenon

Autoři

BEHNKE, J.F., E. PASOTH, C. CSAMBAL, Milan TICHÝ, Pavel KUDRNA, David TRUNEC a Antonín BRABLEC

Vydání

Czech. Journal of Phys. Praha, FU AV ČR, 1999, 011-4626

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/99:00001558

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000080045600006

Klíčová slova anglicky

electron distribution function; magnetron; discharges

Štítky

Změněno: 13. 1. 2000 09:51, doc. RNDr. Antonín Brablec, CSc.

Návaznosti

MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek