Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm.

PEKAŘ, Václav, Jaromír BŘEZINA, David ŠKODA, Ivan OHLÍDAL, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA, Pavel FRANTA, Miloslav OHLÍDAL, Václav ŠULC, Petr KLAPETEK a Marek HAVLÍČEK. Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm. 2020.

Základní údaje

• Originální název: Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm.
• Název anglicky: Antireflection coating on the substrate in specification: T>=99,8 % at 248 nm and T>=98,5 % at 213 nm.
• Autoři: PEKAŘ, Václav, Jaromír BŘEZINA, David ŠKODA, Ivan OHLÍDAL, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA, Pavel FRANTA, Miloslav OHLÍDAL, Václav ŠULC, Petr KLAPETEK a Marek HAVLÍČEK.
• Vydání: 2020.

Další údaje

• Typ výsledku: Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• Klíčová slova anglicky: DUV Coating, high transmission, Al2O3, SiO2

Anotace

Antireflexní vrstvy vyrobené kombinací vysokoindexového materiálu Al2O3 a nízkoindexového materiálu SiO2 splňující následující specifikace v hluboké ultrafialové oblasti, vrstva 1: T>=99,8 % @248 nm, vrstva 2: T>=98,5 % @213 nm

Anotace anglicky

Antireflection coating layers fabricated in combination of high index Al2O3 and low index SiO2 materials with following specification in deep ultraviolet region, design 1: T>=99,8 % at 248 nm and design 2: T>=98,5 % at 213 nm

Návaznosti

• FV40328, projekt VaV: Název: Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra

Investor: Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR, Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra