Characterisation of DLC Films Prepared by PECVD

FRANTA, Daniel a Lenka ZAJÍČKOVÁ. Characterisation of DLC Films Prepared by PECVD. In Proceedings of 12th Symposium on Application of Plasma Processes. Bratislava: Comenius University, Bratislava, Slovakia, 1999, s. 158-159. ISBN 80-223-1370-X.

Základní údaje

Originální název

Characterisation of DLC Films Prepared by PECVD

Autoři

FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant) a Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika)

Vydání

Bratislava, Proceedings of 12th Symposium on Application of Plasma Processes, od s. 158-159, 2 s. 1999

Nakladatel

Comenius University, Bratislava, Slovakia

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Kód RIV

RIV/00216224:14310/99:00001776

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-223-1370-X

Příznaky

Mezinárodní význam

---

Anotace

V originále

Multi-sample modification of variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry (VASE) was used to characterize diamond like carbon (DLC) films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). These films were prepared on wafers of silicon single crystal in the planar capacitively coupled RF reactor. The gas feed for deposition was a mixture of methane (CH4) and argon (Ar).

---

Návaznosti

MSM 143100003, záměr

Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek