2023
Ověřená technologie - prediktivní simulace ta-C procesu
OBRUSNÍK, Adam, Kryštof MRÓZEK, Martin KUBEČKA, Petr ZIKÁN, Jaroslav HNILICA et. al.Základní údaje
Originální název
Ověřená technologie - prediktivní simulace ta-C procesu
Název česky
Ověřená technologie - prediktivní simulace ta-C procesu
Autoři
OBRUSNÍK, Adam (203 Česká republika), Kryštof MRÓZEK (203 Česká republika), Martin KUBEČKA (203 Česká republika), Petr ZIKÁN (203 Česká republika), Jaroslav HNILICA (203 Česká republika, garant, domácí) a Peter KLEIN (703 Slovensko)
Vydání
2023
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Poloprovoz, ověřená technologie, odrůda, plemeno
Obor
20506 Coating and films
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/23:00134560
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova česky
simulace; ta-C proces
Klíčová slova anglicky
simulation; ta-C process
Technické parametry
V rámci technologického postupu byl studován vliv tlaku, výkonu, magnetického pole, teploty.
Navržená technologie byla ověřena těmito depozičními podmínkami: stejnosměrné buzení za tlaku 1 Pa a výkonu od 1 do 20 kW.
Změněno: 1. 2. 2024 12:48, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.
Anotace
V originále
The resulting proven technology verifies the functionality of the PlasmaSolve company's computational framework (enhanced with a new ion transport model) for predictive simulation of the ta-C layer in a real industrial chamber during the process.
Návaznosti
| FW03010533, projekt VaV |
|