FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs

BŘEZINA, Jaromír, Václav PEKAŘ, David ŠKODA, Jan VANDA, Mihai-George MURESAN, Priyadarshani NARAYANASAMY, Martin MYDLÁŘ, Ivan OHLÍDAL, Jan DVOŘÁK, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA a Pavel FRANTA. FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs. 2023.

Základní údaje

• Originální název: FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs
• Název anglicky: FV0343AR – optical element with AR coating for λ = 343nm, R < 0.2%, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 for 900fs pulses
• Autoři: BŘEZINA, Jaromír, Václav PEKAŘ, David ŠKODA, Jan VANDA, Mihai-George MURESAN, Priyadarshani NARAYANASAMY, Martin MYDLÁŘ, Ivan OHLÍDAL, Jan DVOŘÁK, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA a Pavel FRANTA.
• Vydání: 2023.

Další údaje

• Originální jazyk: čeština
• Typ výsledku: Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
• Obor: 10306 Optics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: obsah podléhá obchodnímu tajemství
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• Klíčová slova anglicky: e-gun evaporation with plasma assistence; dielectric coating; LIDT - Laser Induced Damage Threshold
• Technické parametry: Laserově odolná antireflexní vrstva kombinující technologii HfO2/SiO2 deponovaných technologií elektronového napařování. Hranice odolnosti vrstev je vyšší než 0,65 J/cm2, ověřeno na pulzním laseru vlnové délky 343 nm, šířky pulzu 900 fs a opakovací frekvenci 1 000 Hz. Odolnost byla stanovena pro 100 000 pulzů.

Anotace

Laserově odolná antireflexní vrstva na svědečném skle Corning HPFS 7980 (v ArF grade kvalitě) s nanesenou vrstvou kombinující HfO2/SiO2 technologií napařování pomocí elektronového děla za asistenceplasmatu. Hranice laserové odolnosti LIDT byla stanovena na hodnotu > 0,65 J/cm2 pro pulsní laser λ = 343 nm, šířka pulsu 900 fs a opakovací frekvence 1 000 Hz, certifikováno ISO 21254-2.

Anotace anglicky

Laser-resistant durable antireflective coating on witness glass Corning HPFS 7980 (in ArF grade quality) coated with layers combining HfO2/SiO2 evaporation technology using an electron gun with plasma assistance. The LIDT laser induced damage threshold was determined to be > 0.65 J/cm2 for a pulsed laser λ = 343 nm, pulse width 900 fs and repetition rate 1000 Hz, certified to ISO 21254-2.