Deposition of nanocomposite CNx/SiO films in inductively coupled r.f. discharge
ELIÁŠ, Marek, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Vilma BURŠÍKOVÁ, Jan JANČA a Michal LORENC. Deposition of nanocomposite CNx/SiO films in inductively coupled r.f. discharge. Diamond and Related Materials. New York: Elsevier Science S.A., 2000, roč. 9, č. 7, s. 552-555. ISSN 0925-9635. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Deposition of nanocomposite CNx/SiO films in inductively coupled r.f. discharge |
Autoři | ELIÁŠ, Marek (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika), Jan JANČA (203 Česká republika) a Michal LORENC (203 Česká republika). |
Vydání | Diamond and Related Materials, New York, Elsevier Science S.A. 2000, 0925-9635. |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | angličtina |
Typ výsledku | Článek v odborném periodiku |
Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
Stát vydavatele | Spojené státy |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Impakt faktor | Impact factor: 1.591 |
Kód RIV | RIV/00216224:14310/00:00002461 |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
Klíčová slova anglicky | Carbon; Ellipsometry; Nitrides; Mechanical properties |
Štítky | Carbon, ellipsometry, mechanical properties, Nitrides |
Příznaky | Mezinárodní význam, Recenzováno |
Změnil | Změnila: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414. Změněno: 17. 7. 2007 17:40. |
Anotace |
---|
Nanocomposite CNx/SiO thin films |
Návaznosti | |
---|---|
GV106/96/K245, projekt VaV | Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy |
Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy | |
ME 301, projekt VaV | Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev | |
ME 367, projekt VaV | Název: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů | |
MSM 143100003, záměr | Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek | |
OC 527.20, projekt VaV | Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů | |
VS96084, projekt VaV | Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze |
VytisknoutZobrazeno: 13. 10. 2024 05:25