D 2000

Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films

ELIÁŠ, Marek, Vít KUDRLE, Vilma BURŠÍKOVÁ a Jan JANČA

Základní údaje

Originální název

Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films

Autoři

ELIÁŠ, Marek (203 Česká republika), Vít KUDRLE (203 Česká republika), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika, garant)

Vydání

1999. vyd. Belgrad, Proceedings of 20th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases, s. 441-444, 2000

Nakladatel

Institute of Physics,, Univerzity of Belgrad, Yugoslavia

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Srbsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/00:00002464

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

86-7306-043-5

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 8. 2. 2008 19:57, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films

Česky

Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films

Návaznosti

GV106/96/K245, projekt VaV
Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
ME 301, projekt VaV
Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
ME 367, projekt VaV
Název: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
OC 527.20, projekt VaV
Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
VS96084, projekt VaV
Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze