Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy ...
ELIÁŠ, Marek, Vít KUDRLE, Vilma BURŠÍKOVÁ a Jan JANČA. Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films. In Proceedings of 20th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases. 1999. vyd. Belgrad: Institute of Physics,, Univerzity of Belgrad, Yugoslavia, 2000, s. 441-444. ISBN 86-7306-043-5. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films |
Autoři | ELIÁŠ, Marek (203 Česká republika), Vít KUDRLE (203 Česká republika), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika, garant). |
Vydání | 1999. vyd. Belgrad, Proceedings of 20th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases, s. 441-444, 2000. |
Nakladatel | Institute of Physics,, Univerzity of Belgrad, Yugoslavia |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | angličtina |
Typ výsledku | Stať ve sborníku |
Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
Stát vydavatele | Srbsko |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Kód RIV | RIV/00216224:14310/00:00002464 |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
ISBN | 86-7306-043-5 |
Příznaky | Mezinárodní význam |
Změnil | Změnila: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418. Změněno: 8. 2. 2008 19:57. |
Anotace |
---|
Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films |
Anotace česky |
---|
Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films |
Návaznosti | |
---|---|
GV106/96/K245, projekt VaV | Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy |
Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy | |
ME 301, projekt VaV | Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev | |
ME 367, projekt VaV | Název: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů | |
MSM 143100003, záměr | Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek | |
OC 527.20, projekt VaV | Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů | |
VS96084, projekt VaV | Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze |
VytisknoutZobrazeno: 12. 10. 2024 01:18