Deposition of DLC:Si(O) Films in Low Pressure Discharges

ZAJÍČKOVÁ, Lenka, Vilma BURŠÍKOVÁ, Vratislav PEŘINA, Anna MACKOVÁ a Jan JANČA. Deposition of DLC:Si(O) Films in Low Pressure Discharges. In Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes. Bratislava (Slovakia): Dept. of Plasma Physics & Inst. of Physics, Comenius University Bratislava (Slovakia), 2001, s. 43-46. ISBN 80-223-1573-7.

Základní údaje

Originální název

Deposition of DLC:Si(O) Films in Low Pressure Discharges

Autoři

ZAJÍČKOVÁ, Lenka (203 Česká republika, garant), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika), Vratislav PEŘINA, Anna MACKOVÁ a Jan JANČA (203 Česká republika)

Vydání

Bratislava (Slovakia), Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes, s. 43-46, 2001

Nakladatel

Dept. of Plasma Physics & Inst. of Physics, Comenius University Bratislava (Slovakia)

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/01:00003099

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-223-1573-7

Klíčová slova anglicky

DLC; Plasma Enhanced CVD; RF Discharges;

Štítky

DLC, plasma enhanced CVD, RF discharges

Příznaky

Mezinárodní význam

---

Anotace

V originále

Study of the properties of silicon doped DLC films deposited in rf low pressure discharges. Investigation of the influence of the deposition parameters on the film properties.

---

Návaznosti

GA202/00/P037, projekt VaV	Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
ME 301, projekt VaV	Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
ME 367, projekt VaV	Název: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
MSM 143100003, záměr	Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
OC 527.20, projekt VaV	Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů