Coplanar and non-coplanar x-ray reflectivity characterization
of lateral W/Si multilayer gratings

J 2001

Coplanar and non-coplanar x-ray reflectivity characterization of lateral W/Si multilayer gratings

MIKULÍK, Petr, M. JERGEL, T. BAUMBACH, E. MAJKOVÁ, E. PINČÍK et. al.

Základní údaje

Originální název

Coplanar and non-coplanar x-ray reflectivity characterization of lateral W/Si multilayer gratings

Autoři

MIKULÍK, Petr (203 Česká republika, garant), M. JERGEL, T. BAUMBACH, E. MAJKOVÁ, E. PINČÍK, Š. LUBY, L. ORTEGA, R. TUCOULOU, P. HUDEK a I. KOSTIČ

Vydání

J. Phys. D: Appl. Phys. Velká Britanie, IOP Publishing Ltd, 2001, 0022-3727

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Impakt faktor

Impact factor: 1.260

Kód RIV

RIV/00216224:14310/01:00004228

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000169093700040

Klíčová slova anglicky

reflectivity; xrr; x-uv optics; gratings; w/si; x-ray

Štítky

gratings, reflectivity, w/si, x-ray, x-uv optics, xrr

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

Změněno: 12. 2. 2007 19:02, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Anotace

V originále

Structural characterization of a fully etched amorphous W/Si multilayer grating with a lateral periodicity of 800 nm is performed by x-ray reflectivity in the coplanar and non-coplanar modes using a scintillation detector and a two-dimensional gas-filled detector, respectively. Three-dimensional reciprocal space constructions were used to explain the scattering features recorded in both geometries. Coplanar coherent grating truncation rods were fitted by a dynamical theory for rough gratings. Comparison of the reflectivity from the reference planar multilayer completes the study.

Návaznosti

GA202/99/P064, projekt VaV

Název: Studium morfologie rozhraní epitaxních multivrstev RTG reflexí

Investor: Grantová agentura ČR, Studium morfologie rozhraní epitaxních multivrstev RTG reflexí

VS96102, projekt VaV

Název: Laboratoř tenkých vrstev a nanostruktur

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Laboratoř tenkých vrstev a nanostruktur

Citovat

MIKULÍK, Petr, M. JERGEL, T. BAUMBACH, E. MAJKOVÁ, E. PINČÍK, Š. LUBY, L. ORTEGA, R. TUCOULOU, P. HUDEK a I. KOSTIČ. Coplanar and non-coplanar x-ray reflectivity characterization of lateral W/Si multilayer gratings. J. Phys. D: Appl. Phys. Velká Britanie: IOP Publishing Ltd, 2001, roč. 34, 10A, s. A188, 5 s. ISSN 0022-3727.

@article{362931,
   author = {Mikulík, Petr and Jergel, M. and Baumbach, T. and Majková, E. and Pinčík, E. and Luby, Š. and Ortega, L. and Tucoulou, R. and Hudek, P. and Kostič, I.},
   article_location = {Velká Britanie},
   article_number = {10A},
   keywords = {reflectivity; xrr; x-uv optics; gratings; w/si; x-ray},
   language = {eng},
   issn = {0022-3727},
   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
   title = {Coplanar and non-coplanar x-ray reflectivity characterization of lateral W/Si multilayer gratings},
   url = {http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#MikulikJergelBaumbachMPLOTHK-JPD-2001},
   volume = {34},
   year = {2001}
}

TY  - JOUR
ID  - 362931
AU  - Mikulík, Petr - Jergel, M. - Baumbach, T. - Majková, E. - Pinčík, E. - Luby, Š. - Ortega, L. - Tucoulou, R. - Hudek, P. - Kostič, I.
PY  - 2001
TI  - Coplanar and non-coplanar x-ray reflectivity characterization of lateral W/Si multilayer gratings
JF  - J. Phys. D: Appl. Phys.
VL  - 34
IS  - 10A
SP  - A188
EP  - A188
PB  - IOP Publishing Ltd
SN  - 00223727
KW  - reflectivity
KW  - xrr
KW  - x-uv optics
KW  - gratings
KW  - w/si
KW  - x-ray
UR  - http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#MikulikJergelBaumbachMPLOTHK-JPD-2001
N2  - Structural characterization of a fully etched amorphous W/Si multilayer grating with a lateral periodicity of 800 nm is performed by x-ray reflectivity in the coplanar and non-coplanar modes using a scintillation detector and a two-dimensional gas-filled detector, respectively. Three-dimensional reciprocal space constructions were used to explain the scattering features recorded in both geometries. Coplanar coherent grating truncation rods were fitted by a dynamical theory for rough gratings. Comparison of the reflectivity from the reference planar multilayer completes the study.
ER  -

MIKULÍK, Petr, M. JERGEL, T. BAUMBACH, E. MAJKOVÁ, E. PINČÍK, Š. LUBY, L. ORTEGA, R. TUCOULOU, P. HUDEK a I. KOSTIČ. Coplanar and non-coplanar x-ray reflectivity characterization of lateral W/Si multilayer gratings. \textit{J. Phys. D: Appl. Phys.}. Velká Britanie: IOP Publishing Ltd, 2001, roč.~34, 10A, s.~A188, 5 s. ISSN~0022-3727.

Podrobný výpis o publikaci