D
2001
Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD
BRZOBOHATÝ, Oto, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Vilma BURŠÍKOVÁ
Základní údaje
Originální název
Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD
Název česky
Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD
Vydání
1. vyd. Brno, JUNIORMAT 01, s. 144-145, 2001
Nakladatel
ÚMI VUT FSI v Brně ve spolupráci s Českou společností pro nové materiály a technologie
Další údaje
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/01:00004507
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky
Diamond-like carbon; PECVD; Ellipsometry
V originále
Silicon incorporated diamond-like films were deposited by 13.56 MHz rf PECVD and the optical properties of the films were examined by the ellipsometric method. Various mixtures of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO) were used as reaction gases for deposition. The dependencies of the refraction and absorption indices on deposition conditions were studied.
Česky
Silicon incorporated diamond-like films were deposited by 13.56 MHz rf PECVD and the optical properties of the films were examined by the ellipsometric method. Various mixtures of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO) were used as reaction gases for deposition. The dependencies of the refraction and absorption indices on deposition conditions were studied.
Návaznosti
GA202/00/P037, projekt VaV | Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu | Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu |
|
ME 301, projekt VaV | Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev | Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev |
|
MSM 143100003, záměr | Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek | Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
|
Zobrazeno: 20. 10. 2024 02:58