Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD
BRZOBOHATÝ, Oto, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Vilma BURŠÍKOVÁ. Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD. In JUNIORMAT 01. 1. vyd. Brno: ÚMI VUT FSI v Brně ve spolupráci s Českou společností pro nové materiály a technologie, 2001, s. 144-145. ISBN 80-214-1885-0. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD |
Název česky | Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD |
Autoři | BRZOBOHATÝ, Oto (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika, garant) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika). |
Vydání | 1. vyd. Brno, JUNIORMAT 01, s. 144-145, 2001. |
Nakladatel | ÚMI VUT FSI v Brně ve spolupráci s Českou společností pro nové materiály a technologie |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | angličtina |
Typ výsledku | Stať ve sborníku |
Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
Stát vydavatele | Česká republika |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Kód RIV | RIV/00216224:14310/01:00004507 |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
ISBN | 80-214-1885-0 |
Klíčová slova anglicky | Diamond-like carbon; PECVD; Ellipsometry |
Štítky | Diamond-like Carbon, ellipsometry, PECVD |
Změnil | Změnila: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418. Změněno: 8. 2. 2008 20:06. |
Anotace |
---|
Silicon incorporated diamond-like films were deposited by 13.56 MHz rf PECVD and the optical properties of the films were examined by the ellipsometric method. Various mixtures of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO) were used as reaction gases for deposition. The dependencies of the refraction and absorption indices on deposition conditions were studied. |
Anotace česky |
---|
Silicon incorporated diamond-like films were deposited by 13.56 MHz rf PECVD and the optical properties of the films were examined by the ellipsometric method. Various mixtures of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO) were used as reaction gases for deposition. The dependencies of the refraction and absorption indices on deposition conditions were studied. |
Návaznosti | |
---|---|
GA202/00/P037, projekt VaV | Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu |
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu | |
ME 301, projekt VaV | Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev | |
MSM 143100003, záměr | Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
VytisknoutZobrazeno: 2. 10. 2024 06:12