BRZOBOHATÝ, Oto, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Vilma BURŠÍKOVÁ. Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD. In JUNIORMAT 01. 1. vyd. Brno: ÚMI VUT FSI v Brně ve spolupráci s Českou společností pro nové materiály a technologie, 2001, s. 144-145. ISBN 80-214-1885-0.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD
Název česky Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD
Autoři BRZOBOHATÝ, Oto (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika, garant) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika).
Vydání 1. vyd. Brno, JUNIORMAT 01, s. 144-145, 2001.
Nakladatel ÚMI VUT FSI v Brně ve spolupráci s Českou společností pro nové materiály a technologie
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Stať ve sborníku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Česká republika
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/01:00004507
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
ISBN 80-214-1885-0
Klíčová slova anglicky Diamond-like carbon; PECVD; Ellipsometry
Štítky Diamond-like Carbon, ellipsometry, PECVD
Změnil Změnila: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418. Změněno: 8. 2. 2008 20:06.
Anotace
Silicon incorporated diamond-like films were deposited by 13.56 MHz rf PECVD and the optical properties of the films were examined by the ellipsometric method. Various mixtures of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO) were used as reaction gases for deposition. The dependencies of the refraction and absorption indices on deposition conditions were studied.
Anotace česky
Silicon incorporated diamond-like films were deposited by 13.56 MHz rf PECVD and the optical properties of the films were examined by the ellipsometric method. Various mixtures of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO) were used as reaction gases for deposition. The dependencies of the refraction and absorption indices on deposition conditions were studied.
Návaznosti
GA202/00/P037, projekt VaVNázev: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
ME 301, projekt VaVNázev: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
MSM 143100003, záměrNázev: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 7. 6. 2024 20:09