J 1985

SENSITIVITY EXTREMA IN MULTIPLE-ANGLE ELLIPSOMETRY

HUMLÍČEK, Josef

Základní údaje

Originální název

SENSITIVITY EXTREMA IN MULTIPLE-ANGLE ELLIPSOMETRY

Autoři

Vydání

JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA A, OPTICAL SOC AMER, WASHINGTON, 1985, 0740-3232

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10306 Optics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta
Změněno: 9. 11. 2001 10:54, prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.

Anotace

V originále

A quantitative study of sensitivity of multiple-angle-of-incidence ellipsometry in determining several parameters of stratified structures is presented.