Optical characterization of DLC:Si films prepared by PECVD

FRANTA, Daniel, Vilma BURŠÍKOVÁ a Lenka ZAJÍČKOVÁ. Optical characterization of DLC:Si films prepared by PECVD. In Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes. Bratislava (Slovakia): Dept. of Plasma Physics & Inst. of Physics, Comenius University Bratislava (Slovakia), 2001, s. 87-88. ISBN 80-223-157.

Základní údaje

• Originální název: Optical characterization of DLC:Si films prepared by PECVD
• Autoři: FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika) a Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika).
• Vydání: Bratislava (Slovakia), Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes, od s. 87-88, 2 s. 2001.
• Nakladatel: Dept. of Plasma Physics & Inst. of Physics, Comenius University Bratislava (Slovakia)

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Stať ve sborníku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Slovensko
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• WWW: URL
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/01:00004615
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• ISBN: 80-223-157
• Příznaky: Mezinárodní význam

Anotace

Multi-sample modification of variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry (VASE) was used to characterize silicon doped diamond like carbon (DLC:Si) films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). These films were prepared on wafers of silicon single crystal in the planar capacitively coupled RF reactor. The gas feed for deposition was a mixture of methane (CH4), hexamethyldisiloxane (HMDSO) and argon (Ar).

Návaznosti

• GA202/00/P037, projekt VaV: Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu

Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu

• GA202/98/0988, projekt VaV: Název: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod

Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod

• MSM 143100003, záměr: Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

• OC 527.20, projekt VaV: Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů