J 2001

Deposition Process Based on Organosilicon Precursors in Dielectric Barrier Discharges at Atmospheric Pressure - A Comparison

SONNENFELD, Axel, T. M. TUN, Lenka ZAJÍČKOVÁ, K. V. KOZLOV, H.-E. WAGNER et. al.

Základní údaje

Originální název

Deposition Process Based on Organosilicon Precursors in Dielectric Barrier Discharges at Atmospheric Pressure - A Comparison

Autoři

SONNENFELD, Axel, T. M. TUN, Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika, garant), K. V. KOZLOV, H.-E. WAGNER, J. F. BEHNKE a R. HIPPLER

Vydání

Plasmas and Polymers, New York, KLUWER ACADEMIC/PLENUM PUBLISHERS, 2001, 1084-0184

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/01:00005627

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

DBD

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 17. 7. 2007 17:51, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Anotace

V originále

Deposition Process Based on Organosilicon Precursors in Dielectric Barrier Discharges at Atmospheric Pressure - A Comparison

Návaznosti

GA202/00/P037, projekt VaV
Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu