Temperature dependence of mechanical properties of DLC/Si protective coatings prepared by PECVD

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Vladislav NAVRÁTIL, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Jan JANČA. Temperature dependence of mechanical properties of DLC/Si protective coatings prepared by PECVD. Materials Science and Engineering A. Elsevier Science, 2002, roč. 2002, č. 324, s. 251-254. ISSN 0921-5093.

Základní údaje

Originální název

Temperature dependence of mechanical properties of DLC/Si protective coatings prepared by PECVD

Autoři

BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika, garant), Vladislav NAVRÁTIL (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika)

Vydání

Materials Science and Engineering A, Elsevier Science, 2002, 0921-5093

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 1.107

Kód RIV

RIV/00216224:14310/02:00005633

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000174084000044

Klíčová slova anglicky

Temperature dependence; mechanical properties; DLC; PECVD

Štítky

DLC, mechanical properties, PECVD, temperature dependence

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

---

Anotace

V originále

The mechanical properties of hard protective DLC/Si films deposited by PECVD from Ar-CH4-HMDSO mixture have been analyzed using microindentation techniques as the main characterisation tool. The formation and development of crack lines and patterns have been studied to determine fracture toughness of the film and of the interface as a function of temperature.

---

Návaznosti

GA202/00/P037, projekt VaV	Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
ME 301, projekt VaV	Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
MSM 143100003, záměr	Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek