Improvement of the efficiency of the silicon solar cells by silicon incorporated diamond-like carbon antireflective coatings

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Petr SLÁDEK, Pavel SŤAHEL a Lenka ZAJÍČKOVÁ. Improvement of the efficiency of the silicon solar cells by silicon incorporated diamond-like carbon antireflective coatings. Journal of Non-Crystalline Solids. Nizozemsko: Elsevier Science B.V., 2002, roč. 2002, 299-302, s. 1147-1151. ISSN 0022-3093.

Základní údaje

Originální název

Improvement of the efficiency of the silicon solar cells by silicon incorporated diamond-like carbon antireflective coatings

Autoři

BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika, garant, domácí), Petr SLÁDEK (203 Česká republika, domácí), Pavel SŤAHEL (203 Česká republika, domácí) a Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika, domácí)

Vydání

Journal of Non-Crystalline Solids, Nizozemsko, Elsevier Science B.V. 2002, 0022-3093

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Nizozemské království

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 1.435

Kód RIV

RIV/00216224:14310/02:00005785

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000175757600083

Klíčová slova anglicky

silicon solar cells; antireflective coatings; diamond-like films; PECVD

Štítky

antireflective coatings, diamond-like films, PECVD, silicon solar cells

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

---

Anotace

V originále

Silicon incorporated diamond-like antireflective coatings were deposited upon the silicon solar cells in order to improve their efficiency. The films were prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique from the mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and methane. The optical and tribological properties of the coatings could be easily changed by the percentage of the HMDSO in the deposition feed.

---

Návaznosti

GA202/00/P037, projekt VaV	Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
GA202/01/1110, projekt VaV	Název: Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou Investor: Grantová agentura ČR, Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou
MSM 143100003, záměr	Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
OC 527.20, projekt VaV	Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů