J 2002

Study of mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen

ZAJÍČKOVÁ, Lenka, Pavel DVOŘÁK, Vít KUDRLE a Radek ŠMÍD

Základní údaje

Originální název

Study of mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen

Autoři

ZAJÍČKOVÁ, Lenka (203 Česká republika, garant, domácí), Pavel DVOŘÁK (203 Česká republika, domácí), Vít KUDRLE (203 Česká republika, domácí) a Radek ŠMÍD (203 Česká republika, domácí)

Vydání

Czech. J. Phys. Praha, IOP AS CR, 2002, 0011-4626

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 0.311

Kód RIV

RIV/00216224:14310/02:00007188

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000178757300064

Klíčová slova anglicky

RF discharge; mode transition; sheath

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 27. 4. 2013 11:28, prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Anotace

V originále

We have studied the mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen

Návaznosti

GP202/01/P106, projekt VaV
Název: Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
Investor: Grantová agentura ČR, Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
OC 527.20, projekt VaV
Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů

Přiložené soubory

124_1.pdf
Vyhledat podobné dokumenty