Spektroskopická elipsometrie slabě drsných povrchů

FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL, Jaroslav HORA a Karel NAVRÁTIL. Spektroskopická elipsometrie slabě drsných povrchů. In 12. konference českých a slovenských fyziků. Ostrava: Fyzikální vědecká sekce Jednoty českých matematiků a fyziků, 1996, s. 482-485.

Základní údaje

Originální název

Spektroskopická elipsometrie slabě drsných povrchů

Název anglicky

Spectroscopic Ellipsometry of Slightly Rough Surfaces

Autoři

FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL, Jaroslav HORA a Karel NAVRÁTIL

Vydání

Ostrava, 12. konference českých a slovenských fyziků, s. 482-485, 1996

Nakladatel

Fyzikální vědecká sekce Jednoty českých matematiků a fyziků

---

Další údaje

Jazyk

čeština

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

---

Anotace

V originále

V tomto příspěvku ukážeme, že vztahy pro elipsometrické parametry a odrazivost odvozené v rámci námi zobecněné Rayleigh-Riceovy teorie (RRT) mohou být využity pro analýzu tenkých vrstev se slabě drsnými rozhraními.

Anglicky

In this contribution we will show that equations for ellipsometric quantities and reflectance derived by us generalized Rayleigh-Rice theory (RRT) can be used for analysis of slightly rough thin layers.