2001
Optical Diagnostic of RF Plasma: Spectrometer Calibration and Actinometry
DOLEŽAL, Vojtěch, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Jan JANČA a Pavel DVOŘÁKZákladní údaje
Originální název
Optical Diagnostic of RF Plasma: Spectrometer Calibration and Actinometry
Název česky
Optická diagnostika vysokofrekvenčního plazmatu:Kalibrace spektrometru a aktinometrie.
Autoři
DOLEŽAL, Vojtěch (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika, garant), Jan JANČA (203 Česká republika) a Pavel DVOŘÁK (203 Česká republika)
Vydání
Praha, WDS`01 Proceeding of contributed papers, part 2, od s. 394-399, 6 s. 2001
Nakladatel
Matfyzpress
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
80-85863-71-1
Klíčová slova anglicky
rf plasma; actinometry; spetrometer calibration
Štítky
Příznaky
Recenzováno
Změněno: 17. 7. 2007 17:46, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
V originále
In low pressure capacitively coupled rf oxygen discharge we use actinometry method to monitor the oxygen atom concentration. As actinometer we used small impurity of argon, oxygen-to-argon flow rate ratio 19:1. We measure actinometric signal, ie., atomic oxygen-to-argon line intensity, at a pressure 32.2 Pa and 100-400~W rf power range. An rf power increases the actinometric signal rises, which corresponds to the increase of the atomic oxygen concetration. To obtain real actinometric signal we needed to know the spectral response of the monochromator used (Triax 320 Jobin-Yvon with holographic difraction grating and CCD chip). Therefore the calibration of the spectrometer with the grey body radiation of tungsten standart (bulb with W strip) was performed.
Česky
Pro kvantitativní určení koncetrací jednotlivých komponent vysokofrekvenčního plazmatu pomocí aktinometrické metody je provedena kalibrace intenzit jednotlivých spektrálních čar pomocí normálu záření.